激光开封机
设备外型：立式；
激光类型：风冷式光纤激光器；
激光波长：1064nm；
激光输出功率：10W
激光频率可调范围：1Khz-1000Khz
开封速度：0-12000mm/s
双视觉系统：光路同轴和共焦，光刻视觉系统和监控视觉系统都为彩色成像系统，实时成像与激光扫描同步，激光开封路径可见。
图像导入功能：可以直接导入X-Ray, SAM, SEM,JPG,PLT等图像
激光寿命：≥100000小时
激光扫描最大范围：≤110mmx110mm
化学开封机
酸的温度范围：20 to 250℃
酸温设定值：1 ℃
最大腐蚀面积：22 mm x 22 mm
酸的可选类型：发烟硝酸,混合酸(发烟硝酸和硫酸),发烟/浓缩硫酸
混酸比：(硝酸比硫酸) 9:1, 5:1, 4:1, 3:1, 2:1, 1:1
腐蚀冲洗选项：硫酸，发烟硝酸，混酸 或不冲洗
腐蚀时间：1 到 1800秒，间隔1秒， 腐蚀时间实时动
腐蚀温度范围：20℃ to 90℃ (硝酸)
0℃到250℃(硫酸)
0℃到100℃ (混酸)
腐蚀量选择：1到6毫升/分钟
操作程序存储：100组程序
等离子开封机
紧凑型设计
铜导线（以及金、铝或铜/钯）不会产生蚀刻。
芯片钝化层的低攻击性（选择性>500:1）
对样品没有离子，没有辐射，没有电场的影响。
开封时间：1-3小时，激光处理后。
可增加流量控制器(MFC), 用于反应离子刻蚀
配置PC上的过程监控软件